证券市场周刊AI快报，中科飞测（688361.SH）发布了2025年年度报告，报告期内实现营业总收入20.53亿元，同比增长48.75%；归属于上市公司股东的净利润5865.26万元，同比大幅增长608.91%，实现扭亏为盈。不过经营性现金流为-8.62亿元。业绩增长主要得益于公司在突破核心技术、持续推进产业化和迭代升级各系列产品过程中取得重要成果，规模效应逐步凸显，研发投入占营业收入比例同比下降。经董事会决议，公司2025年度拟不进行利润分配，该预案尚需提交股东会审议。

在技术研发方面，中科飞测已形成覆盖集成电路制造所有关键工艺环节的设备产品组合，推出基于电子束及X光技术的新产品，构建"光学+电子束+X光"一站式良率管理解决方案。公司自主研发的良率管理系统软件、缺陷自动分类系统和光刻套刻分析反馈系统等技术处于行业领先水平。截至报告期末，公司拥有专利789项，其中发明专利314项，研发团队达656人，并先后通过国家高新技术企业、国家级专精特新"小巨人"企业和国家制造业"单项冠军企业"认定。业务进展方面，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等产品已通过多家头部客户验证并实现批量销售，晶圆平整度量测设备、电子束关键尺寸量测设备等新产品也已完成样机研发并进入客户验证阶段。