证券市场周刊AI快报，微导纳米（688147.SH）发布了2025年年度报告，报告期内实现营业总收入26.33亿元，同比下降2.47%；归属母公司净利润2.19亿元，同比下降3.23%；经营性现金流3.91亿元。业绩变动主要受光伏设备验收数量减少导致营收小幅下降，产品结构变动及新建产能折旧摊销增加影响，同时为推进半导体业务发展和保持光伏技术优势持续投入研发。公司拟向全体股东每10股派发现金红利1.44元（含税），合计派发约6587万元。

作为国内ALD技术规模化应用的先行者，微导纳米在光伏和半导体领域均取得突破性进展。其High-k原子层沉积设备和硬掩模化学气相沉积设备成功进入集成电路制造前道生产线，iTomicHiK系列半导体ALD设备入选江苏省首台（套）重大装备目录。公司新增专利授权75项，累计有效专利达250项，并获ISO56005创新管理认证。半导体设备业务收入占比从12.14%提升至33.49%，多款ALD和CVD设备通过客户验证。在光伏领域，公司持续优化XBC、HJT及钙钛矿叠层电池技术，自主研发的ALD设备成为制备柔性钙钛矿电池的关键装备。固态电池、硅基OLED等新兴领域的布局逐步落地，空间型ALD设备已获产业化订单，先进封装设备进入客户验证阶段。