证券市场周刊AI快报，至纯科技（603690.SH）发布了2025年年度报告，报告期内实现营业总收入28.55亿元，同比下降20.81%；归属于上市公司股东的净利润为-7.77亿元，同比下滑472.34%；经营性现金流净额为-4.3亿元。业绩变动主要系系统集成业务单个项目规模扩大导致执行周期拉长，设备业务在手订单交付未达预期，叠加费用及减值准备增加等因素影响。2025年度公司拟不进行利润分配。

尽管面临短期业绩压力，至纯科技在半导体核心装备领域取得多项突破：湿法清洗设备已实现28纳米节点全工艺机台开发，其中高温硫酸（SPM）、FinFET清洗等关键设备打破国际垄断，国产首台12英寸硫酸清洗设备单机产量突破100万片次。公司在高纯工艺系统集成领域保持领先优势，特气设备和化学品设备在12寸晶圆厂项目的市占率分别达46.9%和29%。电子大宗气体业务营收增长至2.69亿元，第二座国产化大宗气站投入运营后形成稳定收入来源。研发投入持续加码，过去五年累计超18亿元，专利授权量达679件，SAFETRON系列设备出货量突破4.9万台。子公司至纯精密气体完成6.25亿元融资，合肥晶圆再生产线开始放量，第四季度经营性现金流已呈现改善趋势。