华特气体（688268）05月21日在投资者互动平台表示，截至2024年末，公司有超过20个产品已经批量供应14纳米先进工艺应用，超过13个产品供应到7纳米先进工艺应用，2个产品进入到5纳米先进工艺应用。公司秉持“技术立企、创新驱动”的发展理念，聚焦先进制程应用气体材料、高纯碳氢类、硅基前驱体等高端产品技术攻关与产业化工作，满足14nm及以下先进制程半导体制造的需求，提升公司在高端电子特气领域的自主研发能力。公司有供应少量电子特种气体给深圳市新凯来公司，业务占比很小。
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